SEM ve TEM arasındaki temel fark, SEM'in yansıyan elektronları algılayarak bir görüntü oluşturması, TEM ise iletilen elektronları algılayarak bir görüntü oluşturmasıdır.
SEM ve TEM, elektron demeti kullanarak küçük bir nesnenin görüntüsünü elde etmek için elektron mikroskobunda kullandığımız analitik araçlardır.
SEM nedir?
SEM, taramalı elektron mikroskobu anlamına gelir. Numunenin yüzeyini tarayarak numunelerin görüntülerini oluşturur. Numuneye odaklanmış bir elektron demeti kullanır. Bu elektronlar, numunenin yüzeyindeki atomlarla etkileşerek, yüzeyin topografyasını ifade etmek için farklı sinyaller üretir. Bir dedektör, bir görüntü oluşturmak için bu sinyalleri algılar. Burada kullandığımız dedektör Everhart-Thornley dedektörüdür.
Şekil 01: SEM Örnek Odası
Bu teknikle verilen görüntü üç boyutludur ve maksimum 2 milyon büyütmeye kadar gidebilir. Ayrıca, çözünürlük yaklaşık 0,4 nanometredir.
TEM nedir?
TEM, transmisyon elektron mikroskobu anlamına gelir. Bu mikroskop, bir numuneden bir elektron demeti iletir. Böylece bu, numunenin iç yapısının bir görüntüsünü oluşturur. Ayrıca, bu görüntü, elektronlar ve numunenin atomları arasındaki etkileşim nedeniyle oluşturulur. Ayrıca, görüntüyü bir floresan ekran veya fotoğraf filmi üzerine alabiliriz.
Şekil 2: TEM'den Elde Edilen Bir Görüntü
Çözünürlük dikkate alındığında, bu cihaz yaklaşık 0,5 angstrom çözünürlük verebilir. Ayrıca, bir örneği orijinalinden yaklaşık 50 milyon kat büyütebilir. Ancak TEM'in verdiği görüntü iki boyutludur.
SEM ve TEM Arasındaki Fark Nedir?
SEM, taramalı elektron mikroskobu, TEM ise transmisyon elektron mikroskobu anlamına gelir. SEM ve TEM arasındaki temel fark, SEM'in yansıyan elektronları algılayarak bir görüntü oluşturması, TEM ise iletilen elektronları algılayarak bir görüntü oluşturmasıdır. SEM bir numunenin yüzeyini analiz ederken TEM iç yapıyı analiz eder. SEM ve TEM arasındaki diğer bir fark, çözünürlükleridir. SEM tekniğinin çözünürlüğü yaklaşık 0,4 nanometre iken TEM yaklaşık 0,5 angstrom verir.
Özet – SEM ve TEM
SEM, taramalı elektron mikroskobu, TEM ise transmisyon elektron mikroskobu anlamına gelir. SEM ve TEM arasındaki temel fark, SEM'in yansıyan elektronları algılayarak bir görüntü oluşturması, TEM ise iletilen elektronları algılayarak bir görüntü oluşturmasıdır.
